臭氧經常被用于污水處理廠等場所的水消毒，但所需的設備對于水冷卻器等小型設備來說通常太大了。然而一種新型的微型臭氧發生器可能會改變這一情況。據了解，臭氧氣體通過氧化它們的保護外層膜、導致外層膜破裂來殺死有害細菌和其他病原體。

它比氯氣等化學物質更有效，但跟它們不同的是，它不會影響到水的味道或氣味，并且在處理后水中不會殘留臭氧。

也就是說，必須根據需要在現場生成。換言之，臭氧不能像化學物質那樣能夠預先批量生產并儲存起來以備往后使用。這就是微型臭氧發生器的用途所在。

目前，該設備的雛形只有幾立方厘米大小，可以放置在第三方供水設備的水流管道中。

生成器內的傳感器芯片會持續不斷地測量水的導電性、質量流量和溫度。電導率決定了在電解過程中需要多少電流，流量決定了臭氧產生的速度，溫度決定了需要多少臭氧--臭氧在更高的溫度下會分解得更快。臭氧是由一個內置的電解池產生，該電解池包含一對金剛石涂層的硅電極。

兩個電極被離子導電隔膜隔開，當電壓被施加在電極上，水在電解過程的作用下被分解。由于金剛石層覆蓋在電極上，所以這個過程首先會形成羥基自由基，然后發生反應，主要形成臭氧(O3)和氧氣(O2)。