脫硝用臭氧發生器的脫硝原理是將不溶于水的低價態氮氧化合物，通過臭氧的氧化性，氧化為可溶的高價態氮氧化合物，然后在噴淋洗滌塔內，通過堿性溶液進行吸收，達到脫除的目的。

低溫煙氣脫氮技術在低溫催化氧化技術最簡單而有效的,因為煙氣中的氮氧化物組成基本上沒有95(代表),沒有是不溶于水,與臭氧接觸沒有后,反應生成二氧化氮,氮氧化物整個NO3、N2O5,等價，這些氧氮的價可溶于水，并生成HNO2 HNO3，更大的溶解能力，容易通過噴灑堿性溶液(如Ca (OH) 2。(氫氧化鈉)和其他方法將其從煙氣中除去。

煙道氣體轉化為沒有很高的價,應該引入強大的氧化劑在許多氧化劑,臭氧是一種強氧化劑最環保清潔,O3相對長壽命,會產生少量的氧氣或空氣電離,然后進入煙氣,可以顯著降低功耗。

其中主要包括以下反應：

NO+O3→NO2+O2 （1）

NO2+O3→NO3+O2 （2）

NO2+NO2→N2O4 （3）

N2O4+O3→N2O5 （4）

NO3+NO2→N2O5 （5）

3NO2+H2O→2HNO3+NO   (6)

N2O5+ H2O→2HNO3 （7）

臭氧脫氮是利用臭氧將NO氧化成價態較高的氮氧化物，需要被進一步吸收。常見的吸收液包括氫氧化鈣、氫氧化鈉和其他堿液。對NO的去除率可達86.27%~92%。