臭氧發生器工作中時候造成很多的能源，必須水冷卻，不然活性氧會因為高溫而邊造成邊溶解。水冷散熱型超聲波發生器水冷卻好用，工作中平穩，活性氧無衰減系數，能夠長期持續工作中，但構造繁瑣，成本費稍高。風冷式型水冷卻實際效果不足理想化，活性氧衰減系數顯著。

1、整體特性平穩的性能臭氧發生器一般全是水冷式的。風冷式通常只用以活性氧生產量較小的中低端臭氧發生器。在采用超聲波發生器時，應盡可能采用水冷散熱型的。

2、因為活性氧是靠co2來造成的，而氣體中co2的含水量只能21%，因此空氣型超聲波發生器造成的臭氧濃度相對性較低，而罐裝或醫用制氧機的co2純凈度都會90%左右，因此co2型超聲波發生器的臭氧濃度較高。

3、按電極化原材料區劃，普遍的有石英管、陶瓷纖維板、陶瓷管、玻璃試管和搪瓷管等幾類種類。現階段應用各種電極化原材料生產制造的臭氧發生器銷售市場上均有市場銷售，其特性各不相同，夾層玻璃介電體低成本特性穩是人工服務生產制造活性氧應用開始的原材料之首，但沖擊韌性差。

4、瓷器和夾層玻璃相近但瓷器不適合生產加工在大中型臭氧機中應用受限制。搪瓷是這種新式電極化原材料，物質和電級于一體化沖擊韌性高、可精密機械加工精密度較高，在大中小型臭氧發生器中普遍應用，但生產制造成本費較高。