在大多數臭氧水處理應用中，為了達到或超過消毒或氧化的殘留目標，需要監測水中或廢氣中臭氧殘留的濃度，并增加或減少臭氧發生器的輸出。

在一些臭氧水處理應用中，該方法要求處理過的水中的臭氧殘留量保持在一定限度以下。 雖然臭氧在水處理的典型條件下在水中的半衰期很短，但可以持續1-2小時，如果需要考慮下游腐蝕或工藝污染，則需要采取措施減少或消除臭氧殘留。

分解水中的臭氧有三種基本方法：紫外線輻射、化學品和活性炭。

紫外線（UV） 

紫外線系統對工藝用水中的臭氧破壞非常有效。 由于在大多數高純水處理過程中不需要化學品或加熱，因此在簡單的流動物理過程中，紫外線是臭氧分解的首選方法。 這是不需要添加化學品或其他材料的首選方法，例如在食品、飲料、制藥或半導體行業。

化學品 

某些化學品也可以添加到水中以去除殘留的臭氧。 這些化學品包括過氧化氫、亞硫酸氫鈉和硫代硫酸鈣。 這些化學添加劑可用于超純水系統應用之外。 與飲用水處理一樣，與亞硫酸鹽或硫代硫酸鹽的反應會在幾秒鐘內發生。 亞硫酸鹽的劑量率約為 2.2 克亞硫酸鈉/克臭氧。 硫代硫酸鈉的比例為2.1克硫代硫酸鈉/克臭氧。 與任何化學品一樣，您需要提前閱讀材料數據安全表，以防止其他化學反應。 但是亞硫酸鹽會產生二氧化硫煙霧，這一點很重要，需要注意。

活性炭

對于少量的臭氧，活性炭是去除水中殘留物的有效方法，碳能催化殘留臭氧的分解。

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